Das UHV-Eckventil wird für Ultrahochvakuumbedingungen oder Backbedingungen verwendet.Als Medien kommen Luft und nicht korrosive Gase in Betracht.Die ideale Struktur mit Balgwellendichtung und Flansch ist mit sauerstofffreiem Kupfermetall abgedichtet und hält somit einer Temperatur von 450 °C stand.
Optionaler CD-J-Winkeltyp und CD-S-T-Typ innerhalb des Vorpumpenanschlusses am Flanschende.
Der Betrieb kann manuell, pneumatisch oder elektromotorisch erfolgen.
Geltungsbereich | 105~1,3×10-7Pa |
Ventilleckrate | ≤1.3×10-8Pa.L/S. |
Mittlere Temperatur | ≤450 °C |
Installationsstatus | Beliebig |
Körper、Stengel、Motorhaube | Edelstahl |
Siegel | Sauerstofffreies Kupfer、Faltenbalg (Wellendichtung) |