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Elektromagnetisches rechtwinkliges Vakuumventil für Halbleiter

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Anwendungsbereich: 10⁵~6,7×10⁻⁷Pa
Ventilleckrate: ≤1,3 ×10⁻⁷Pa.L/S
Mittlere Temperatur: -30 bis +150 °C
Anstieg der Spulentemperatur: ≤50 ºC
Öffnungs- und Schließzeit: ≤1s
Stromversorgung: Im Allgemeinen: AC220V, AC110V; Optional: DC24V, DC12V
Installationsstatus: Beliebig
Arbeitsfrequenz: ≤6 Mal/Min
Stromverbrauch: Sofortstart ≤ 2000 W, Halten ≤ 10 W
Druckunterschied an der Öffnung: DN16~40: ≤0,11 MPa
Gehäuse- und Scheibenmaterial: Edelstahl
Dichtung: Balg
Verfügbarkeitsstatus:
Menge:

Beschreibung

Unser wurde für Vakuumsystemingenieure, Halbleiterfertigungsspezialisten und Beschaffungsteams für Präzisionsprozesse entwickelt und elektromagnetisches rechtwinkliges Vakuumventil (auch bekannt als elektromagnetisches Hochvakuum-Eckventil ) ist eine fortschrittliche Lösung zur Durchflussregelung, die für außergewöhnliche Leistung in Hoch- und Ultrahochvakuumumgebungen entwickelt wurde. Dieses Ventil erfüllt die strengsten Sauberkeits- und Zuverlässigkeitsstandards für kritische Industrieprozesse und bietet eine schnelle, präzise Ein-/Aus-Steuerung des Vakuumluftstroms mit integrierten Vakuumdesinfektionsfunktionen zur Unterstützung steriler, kontaminationsfreier Abläufe.

Wichtige Spezifikationen auf einen Blick

Anwendungsbereich

105~6,7×10 -7Pa

Ventilleckrate

≤1,3×10 -7Pa.L/S

Mittlere Temperatur

-30~+150 °C

Anstieg der Spulentemperatur

≤50 °C

Öffnungs- und Schließzeit

≤1s

Stromversorgung

Im Allgemeinen: AC220V, AC110V,

Optional: DC24V, DC12V

Installationsstatus

Beliebig

Arbeitsfrequenz

≤6 Mal/Min

Stromverbrauch

Starten Sie sofort ≤ 2000 W, halten Sie ≤ 10 W aufrecht.

Druckunterschied beim Öffnen

DN16~40: ≤ 0,11 MPa

Körper, Scheibe

Edelstahl

Siegel

Balg

Produktübersicht und Funktionsprinzip

Dieses elektromagnetische rechtwinklige Vakuumventil ist ein elektromagnetisch betätigtes Steuergerät der GDC-J-Serie, das speziell dafür entwickelt wurde, den Vakuumluftstrom in Vakuumleitungen mit unübertroffener Präzision zu verbinden oder zu unterbrechen. Das Ventil verfügt über ein rechtwinkliges Strömungswegdesign mit einem elektromagnetischen Betätigungssystem als zentraler Antriebskomponente. Bei Aktivierung erzeugt die Magnetspule eine elektromagnetische Kraft, um den Ventilteller anzuheben und den Strömungsweg für einen ungehinderten Luftstrom innerhalb des Vakuumsystems zu öffnen. Im stromlosen Zustand stellt sich die Ventilscheibe mithilfe der Federkraft schnell zurück und verschließt so den Strömungsweg dicht, um den Vakuumbereich zu isolieren. Die integrierte Balgdichtungsstruktur isoliert den internen Vakuumhohlraum vollständig vom externen Aktuator, eliminiert interne Leckagen und gewährleistet eine langfristig stabile Aufrechterhaltung des Vakuumniveaus. Die integrierte Vakuumdesinfektionsfunktion des Ventils beseitigt effektiv Verunreinigungen in der Vakuumkammer und sorgt so für eine sterile, hochreine Umgebung für geschäftskritische Prozesse.

Elektromagnetisches rechtwinkliges Vakuumventil für Halbleiter

Kernvorteile und Designmerkmale

Ultrahochvakuumkompatibilität und leckagefreie Abdichtung

Das Ventil wurde für Hoch- und Ultrahochvakuumumgebungen entwickelt und bietet branchenführende niedrige Leckageraten. Die Balgdichtungsstruktur eliminiert interne und externe Leckagerisiken und gewährleistet eine stabile Kontrolle des Vakuumgrades auch bei langfristigem Dauerbetrieb.

Ultraschnelle Reaktion und präzise Flusskontrolle

Mit einem vollständigen Öffnungs-/Schließzyklus von ≤ 1 Sekunde reagiert das Ventil sofort auf Steuersignale des Vakuumsystems, ermöglicht eine genaue Druckregulierung und verhindert Schäden an empfindlichen Komponenten im Vakuumsystem.

Geringer Stromverbrauch und Design mit geringem Temperaturanstieg

Ein optimierter Steuerkreis begrenzt den Anstieg der Spulentemperatur im Dauerbetrieb auf ≤50℃, bei extrem niedrigem Haltestromverbrauch (≤10W), wodurch die Energiekosten gesenkt und die Lebensdauer der Magnetspule verlängert werden.

Hochreine Konstruktion und integrierte Desinfektion

Die vollständig aus Edelstahl gefertigten benetzten Teile und die integrierte Vakuumdesinfektionstechnologie sterilisieren die Vakuumkammer effektiv und beseitigen Verunreinigungen. Dadurch ist sie ideal für hochreine und sterile Prozesse in der Halbleiter- und biopharmazeutischen Industrie.

Universelle Anpassungsfähigkeit und vereinfachte Installation

Unterstützt eine Vielzahl von Stromversorgungsoptionen, ist mit 50-Hz-/60-Hz-Stromquellen kompatibel und kann ohne Leistungseinbußen in jeder Ausrichtung installiert werden, was eine nahtlose Integration in bestehende Vakuumsysteme ermöglicht.

Typische Anwendungsbranchen

Dieses elektromagnetische rechtwinklige Vakuumventil wird häufig in Industriezweigen mit strengen Vakuum- und Sauberkeitsanforderungen eingesetzt, darunter in der Halbleiterfertigung, in der Biopharmazeutik und Biotechnologie, in Vakuumbeschichtungsanlagen, in wissenschaftlichen Forschungslabors, in der Vakuumwärmebehandlung, in der Produktion elektronischer Komponenten, in der Herstellung von Solarmodulen und in der industriellen Vakuumverpackung. Es ist die zentrale Steuerungskomponente für alle Arten von Hochvakuum-Rohrleitungssystemen.

Warum sollten Sie sich für Pioneer Valve entscheiden?

Pioneer Valve ist ein vertrauenswürdiger Lieferant von Industrieventilen, der sich auf hochpräzise Vakuumventile für kritische Industrieprozesse spezialisiert hat. Jedes von uns hergestellte elektromagnetische Hochvakuum-Eckventil wird vor der Auslieferung einer strengen Vakuumleistungsprüfung und Dichtheitsprüfung unterzogen, um die vollständige Einhaltung globaler Industriestandards sicherzustellen. Unser hauseigenes Forschungs- und Entwicklungsteam kann die Ventilparameter vollständig an Ihre individuellen Vakuumsystemanforderungen anpassen, von den Spezifikationen der Stromversorgung bis hin zu Größen- und Materialoptionen. Wir bieten technischen Support über den gesamten Zyklus, von der Auswahl vor dem Verkauf bis zur Wartung nach dem Verkauf, und liefern zuverlässige, langlebige Vakuumsteuerungslösungen für Ihre hochpräzisen Industriebetriebe.

FAQs

Kann dieses Ventil in jeder Ausrichtung eingebaut werden?

Ja. Das Ventil ist so konstruiert, dass es den Einbau in jede Richtung unterstützt, ohne dass seine Leistung oder Dichtigkeit beeinträchtigt wird, sodass es sich leicht an komplexe Vakuumsystemlayouts anpassen lässt.

Bieten Sie für dieses Vakuumventil eine Niederspannungsversorgung an?

Ja. Zusätzlich zu den standardmäßigen AC220V- und AC110V-Netzteilen bieten wir optionale DC24V- und DC12V-Konfigurationen an, um den Anforderungen von Niederspannungs-Steuerungssystemen gerecht zu werden.

Was ist die maximale Arbeitsfrequenz dieses Ventils?

Die maximal empfohlene Arbeitsfrequenz beträgt ≤6 Mal pro Minute, was den Steuerungsanforderungen der meisten industriellen Vakuumsysteme vollständig entspricht.

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ÜBER DAS UNTERNEHMEN

WENZHOU PIONEER VALVE ist ein auf Technologieinnovationen basierender Ventilhersteller mit Sitz in China seit 1993.

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